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拒绝日本卡脖子 韩欧义国SK海力士将国产化EUV光刻胶
欧亿2025-12-17 01:08:30【焦点】4人已围观
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快科技12月7日消息,拒绝胶前不久日本断供光刻胶的日本消息引发关注,虽然日本方面否认了传闻,卡脖欧义但在光刻胶领域,韩国海力化日本公司确实卡了大部分半导体公司的国产光刻脖子。
尤其是拒绝胶在先进的EUV光刻胶领域,目前主要掌握在日本JSR、日本信越化学、卡脖东京应化TOK等公司手中,韩国海力化欧义前几年日本与韩国爆发争端之后,国产光刻日本就停止过对韩出口光刻胶等三种关键材料。拒绝胶
这几年中韩国也一直在加大对半导体核心技术与材料的日本国产化,之前有说法称韩国已经解决了EUV光刻胶,卡脖实际上并不是韩国海力化,所谓的国产光刻解决只是日本公司为了绕过政策限制,对韩出口从本土改为海外公司供货而已,韩国三星、SK海力士等公司依然依赖日本公司EUV光刻胶供应。
相比三星,SK海力士主要是生产存储芯片,此前对EUV光刻胶需求不算高,但是随着工艺的提升,内存芯片也要大量使用EUV光刻工艺,为此他们也联合韩国的东进世美肯公司合作开发EUV光刻胶。
双方合作的产品目标不仅是取代日本公司的EUV光刻胶,而且还要在性能上超越日本产品,特别是光敏性,以便提高生产效率。
光刻胶的光敏性越强,所需的曝光时间就会越短,因此生产效率会更高,即便是同样的EUV光刻机,先进EUV光刻胶生产能力也是不同的。
随着内存芯片不断逼近10nm甚至在10nm以下,所需的EUV光刻层数也在不断增加,第七代1d工艺已经需要7层EUV了,未来只会继续增加。

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责任编辑:宪瑞
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